Leybold RUVAC Roots-Vakuumpumpen – Hochleistungs-Drehkolbenpumpen für industrielle Anwendungen
Leybold RUVAC Roots-Vakuumpumpen (Drehkolbenpumpen) sind Hochleistungs-Vakuumpumpen für industrielle Anwendungen mit höchsten Saugvermögen von 100-20.000 m³/h. In Kombination mit Vorpumpen erreichen sie ein Endvakuum bis unter 0,001 mbar (10⁻³ mbar). Die RUVAC-Familie umfasst die bewährten Serien WAU, WH, WS und WSU – speziell entwickelt für Beschichtungstechnik, Metallurgie und anspruchsvolle Vakuumprozesse.
Produktpalette Leybold RUVAC Roots-Pumpen:
1. RUVAC WAU – Kompakte Roots-Pumpen mit integriertem Motor
- 9 Modelle: WAU 101 bis WAU 2001
- Saugvermögen: 100-2050 m³/h
- Druckdifferenz: bis 50 mbar
- Bauweise: Kompakt mit integriertem Motor
- Leistung: 1,5-15 kW
- Ideal für: Platzsparende Installation, mittlere Anwendungen
2. RUVAC WH – Horizontale Roots-Pumpen (Standard)
- 15 Modelle: WH 250 bis WH 20000
- Saugvermögen: 250-20.000 m³/h
- Druckdifferenz: bis 53 mbar
- Bauweise: Horizontal, separate Kupplung
- Leistung: 3-110 kW
- Ideal für: Große Industrieanlagen, Beschichtung
3. RUVAC WS – Vertikale Roots-Pumpen (Platzsparend)
- 15 Modelle: WS 250 bis WS 20000
- Saugvermögen: 250-20.000 m³/h
- Druckdifferenz: bis 53 mbar
- Bauweise: Vertikal, minimale Grundfläche
- Leistung: 3-110 kW
- Vorteil: Bis zu 50% weniger Platzbedarf als horizontal
4. RUVAC WSU – Vertikale Roots-Pumpen mit integriertem Motor
- 8 Modelle: WSU 251 bis WSU 2001
- Saugvermögen: 255-2050 m³/h
- Druckdifferenz: bis 50 mbar
- Bauweise: Vertikal kompakt mit integriertem Motor
- Leistung: 3-15 kW
- Ideal für: Maximale Platzersparnis bei mittleren Leistungen
Funktionsprinzip RUVAC Roots-Pumpen:
RUVAC Roots-Pumpen (Drehkolbenpumpen) arbeiten mit zwei achterförmigen Rotoren, die berührungsfrei im Gehäuse gegeneinander rotieren. Die Synchronisation erfolgt über ein externes Zahnradgetriebe außerhalb des Förderraums. Das Gas wird vom Ansaugstutzen zum Auslassstutzen transportiert, aber nicht verdichtet (Verdrängerprinzip). Die eigentliche Verdichtung erfolgt durch eine nachgeschaltete Vorpumpe (Drehschieber, Schrauben oder Schnabelpumpe).
Technische Vorteile der RUVAC Roots-Pumpen:
- ✓ Sehr hohe Saugleistung – bis zu 20.000 m³/h pro Pumpe
- ✓ 100% ölfrei – keine Kontamination des Prozesses
- ✓ Trockenlaufend – keine Betriebsflüssigkeiten im Förderraum
- ✓ Berührungsfreier Lauf – minimaler Verschleiß, lange Lebensdauer
- ✓ Hoher Vakuumbereich – effektiv von 10 mbar bis <0,001 mbar
- ✓ Schnelle Evakuierung – extrem kurze Pumpzeiten
- ✓ Wartungsarm – lange Wartungsintervalle
- ✓ Energieeffizient – hoher Wirkungsgrad
- ✓ Vielseitige Bauformen – horizontal, vertikal, kompakt
- ✓ Mehrstufenfähig – mehrere Pumpen kaskadierbar
- ✓ Robuste Konstruktion – für industriellen Dauerbetrieb
RUVAC Roots-Pumpen in Kombination mit Vorpumpen:
RUVAC Roots-Pumpen arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe, da sie nicht direkt gegen Atmosphärendruck pumpen können. Typische Kombinationen:
| Vorpumpentyp | Endvakuum (System) | Vorteile | Typische Anwendung |
|---|---|---|---|
| SOGEVAC (einstufig) | 0,01-0,1 mbar | Wirtschaftlich, bewährt | Beschichtung, Metallurgie |
| TRIVAC (zweistufig) | 0,0001-0,001 mbar | Tiefes Endvakuum | Hochvakuum-Beschichtung |
| Schnabelpumpe (Claw) | 1-10 mbar | Ölfrei, robust | Chemie, Pharma |
| Schraubenpumpe | 0,001-0,01 mbar | Ölfrei, chemikalienbeständig | Halbleiter, Beschichtung |
| Mehrstufig (Roots-Kaskade) | <0,0001 mbar | Höchstes Vakuum | Ultrahochvakuum-Vorstufe |
Hauptanwendungsbereiche:
- Beschichtungstechnik: PVD, CVD, Sputtern, Aufdampfen, Kathodenzerstäubung, Inline-Anlagen
- Metallurgie: Vakuumschmelzen, Vakuumgießen, Entgasung, ESR, VAR-Prozesse
- Halbleiterindustrie: Waferfertigung, Ätzen, CVD, PECVD, Implantation
- Solartechnik: Herstellung von Solarzellen, Dünnschichtmodule, CIGS
- Architektonisches Glas: Beschichtung von Fassadenglas, Low-E-Glas
- Display-Herstellung: LCD, OLED, Touchscreen-Beschichtung
- Automobilindustrie: Scheinwerferbeschichtung, Dekorbeschichtung
- Werkzeugbeschichtung: TiN, TiAlN, DLC-Beschichtungen
- Optische Beschichtung: Linsen, Spiegel, Anti-Reflex-Schichten
- Vakuumöfen: Wärmebehandlung, Sintern, Löten, Härten
- Chemische Industrie: Destillation, Polymerisation, Trocknung
- Forschung & Entwicklung: Hochvakuumkammern, Materialforschung
- Kryotechnik: Evakuierung von Kryostaten und Supraleitern
RUVAC Bauformen – Welche ist die richtige?
| Serie | Bauform | Motor | Platzbedarf | Anwendung |
|---|---|---|---|---|
| WAU | Kompakt | Integriert | ✓ Gering | Kleine/mittlere Anlagen |
| WH | Horizontal | Separat gekuppelt | ○ Mittel (Grundfläche) | Große Industrieanlagen |
| WS | Vertikal | Separat gekuppelt | ✓✓ Sehr gering | Bei begrenztem Platz |
| WSU | Vertikal kompakt | Integriert | ✓✓ Minimal | Maximale Platzersparnis |
Mehrstufige Roots-Systeme:
Für tiefste Vakuumbereiche können mehrere RUVAC Roots-Pumpen in Kaskade (Reihe) geschaltet werden:
- Einstufig: Roots + Vorpumpe → 0,001-0,01 mbar
- Zweistufig: Roots + Roots + Vorpumpe → 0,0001-0,001 mbar
- Dreistufig: Roots + Roots + Roots + Vorpumpe → <0,0001 mbar
- Vorteil: Extrem hohes Gesamtsaugvermögen auch im Hochvakuum
Typische RUVAC Pumpstände (Beispiele):
Beschichtungsanlage (mittel):
- RUVAC WS 1001 (1000 m³/h) + SOGEVAC SV 300 B (240 m³/h)
- Endvakuum: ca. 0,01 mbar
- Anwendung: PVD-Beschichtung, Sputtern
Große Inline-Beschichtung:
- 2x RUVAC WH 4200 (4200 m³/h) + 2x SOGEVAC SV 750 BF (755 m³/h)
- Gesamtsaugvermögen: 8400 m³/h
- Anwendung: Architekturglas, Solar
Hochvakuum-Labor:
- RUVAC WAU 251 (255 m³/h) + TRIVAC D 25 E (23 m³/h)
- Endvakuum: ca. 0,0005 mbar
- Anwendung: Forschung, Analytik
Betriebsparameter und Wartung:
- Lager: Lebensdauergeschmierte Wälzlager
- Getriebe: Ölgeschmierte Zahnräder (außerhalb Förderraum)
- Ölwechsel Getriebe: Ca. 8000-16.000 Betriebsstunden
- Umgebungstemperatur: +5°C bis +40°C
- Max. Differenzdruck: 50-53 mbar (modellabhängig)
- Geräuschpegel: Ca. 65-85 dB(A) je nach Größe
- Kühlung: Luftgekühlt (Standard), Wasserkühlung optional
Unser Komplettservice für RUVAC Roots-Pumpen:
- Verkauf: Neue RUVAC Pumpen aller Serien (WAU, WH, WS, WSU)
- Systemauslegung: Optimale Kombination aus Roots- und Vorpumpe
- Ersatzteile: Rotoren, Zahnräder, Lager, Dichtungen, Wellendichtringe ab Lager
- Getriebeöle: Original Leybold Spezialöle
- Zubehör: Schalldämpfer, Ventile, Druckschalter, Steuerungen
- Wartung: Regelmäßige Inspektionen und Getriebeölwechsel
- Reparatur & Revision: Professionelle Generalüberholung aller RUVAC Modelle
- Austauschservice: Minimale Ausfallzeiten durch Leihgeräte
- Vor-Ort-Service: Installation, Inbetriebnahme, Störungsbeseitigung
- Komplettsysteme: Vakuumpumpstände mit Steuerung und Überwachung
Service-Infrastruktur:
- Spezialisiertes Team für Leybold Roots-Vakuumtechnik
- Ingenieure für Vakuumsystemauslegung und Pumpzeit-Simulation
- Umfangreiches Ersatzteillager für schnelle Verfügbarkeit
- Austauschpumpen verschiedener Größen zum Verleih
- Moderne Test- und Messeinrichtungen für Hochvakuum
- Industrielle Reinigungsanlage für Aufbereitung
Auswahlhilfe – Wichtige Fragen:
- Welches Kammervolumen? (Liter oder m³)
- Welches Endvakuum ist erforderlich? (mbar absolut)
- Welche Pumpzeit ist gewünscht? (Sekunden/Minuten bis Prozessdruck)
- Gibt es Gaslasten? (Ausgasungen, Prozessgase, Sputtergas)
- Welche Vorpumpe? (Vorhanden oder neu, ölfrei/ölgeschmiert)
- Platzverhältnisse: Horizontal oder vertikal bevorzugt?
- Betriebsweise: Kontinuierlich oder zyklisch?
- Budget: Neugerät oder generalüberholt?
Warum Leybold RUVAC Roots-Vakuumpumpen?
- Weltmarktführer in Roots-Technologie seit über 100 Jahren
- RUVAC – Industriestandard in der Beschichtungstechnik
- Zehntausende Pumpen weltweit im Einsatz
- Höchste Zuverlässigkeit und Lebensdauer
- Umfangreichstes Produktprogramm (100-20.000 m³/h)
- Vielseitige Bauformen für jeden Platzbedarf
- Weltweite Verfügbarkeit von Ersatzteilen
- Exzellenter Service und Support
Kontaktieren Sie uns für eine kostenlose Systemauslegung! Unsere Leybold-Vakuumspezialisten berechnen die optimale RUVAC-Vorpumpen-Kombination für Ihre spezifische Anwendung – inklusive Pumpzeit-Simulation, Leistungskurven und Wirtschaftlichkeitsanalyse.
