Leybold SCREWLINE Schrauben-Vakuumpumpen – Trockenlaufende Hochleistungspumpen
Leybold SCREWLINE Schrauben-Vakuumpumpen sind trockenlaufende Hochleistungs-Vakuumpumpen der neuesten Generation. Mit einem Saugvermögen von 150-630 m³/h und einem Endvakuum bis 0,01 mbar (10⁻² mbar) ohne Vorpumpe sind sie die ideale Lösung für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie, Beschichtungstechnik und Chemie. Die Serien SCREWLINE SP und SCREWLINE SX bieten höchste Performance bei absoluter Ölfreiheit.
Produktpalette Leybold SCREWLINE:
1. SCREWLINE SP – Standard Performance Serie
- 4 Modelle: SCREWLINE SP 150, SP 250, SP 500, SP 630
- Saugvermögen: 150-630 m³/h bei 50 Hz
- Endvakuum: 0,01 mbar (10⁻² mbar)
- Leistung: 5,5-18,5 kW
- Drehzahl: 2900 U/min
- Ideal für: Standardanwendungen mit hohem Durchsatz
2. SCREWLINE SX – Extended Performance Serie
- Erweiterte Modelle mit zusätzlichen Features
- Optimiert für: Höhere Gaslasten, aggressive Medien
- Besonderheiten: Verbesserte Materialien und Beschichtungen
- Anwendung: Anspruchsvolle Prozesse in Halbleiter und Chemie
Funktionsprinzip SCREWLINE Schraubenpumpen:
SCREWLINE Pumpen arbeiten mit zwei ineinandergreifenden Schraubenrotoren, die berührungsfrei im Gehäuse rotieren. Das Gas wird axial von der Ansaugseite zur Druckseite transportiert und dabei kontinuierlich verdichtet. Die Synchronisation erfolgt über externe Zahnräder, wodurch ein absolut ölfreier Förderraum gewährleistet ist. Die spezielle Schraubengeometrie ermöglicht hohe Kompression und exzellente Saugleistung auch im Hochvakuumbereich.
Technische Vorteile der SCREWLINE Vakuumpumpen:
- ✓ 100% ölfrei – keine Kontamination durch Betriebsöl
- ✓ Trockenlaufend – keine Betriebsflüssigkeiten im Förderraum
- ✓ Hohes Endvakuum – bis 0,01 mbar ohne Vorpumpe
- ✓ Hohe Saugleistung – konstant über weiten Druckbereich
- ✓ Berührungsfreier Lauf – minimaler Verschleiß, lange Lebensdauer
- ✓ Wartungsarm – keine Lamellen, keine Ventile, kein Ölwechsel
- ✓ Energieeffizient – optimaler Wirkungsgrad durch moderne Motoren
- ✓ Chemikalienbeständig – geeignet für aggressive und korrosive Gase
- ✓ Partikelunempfindlich – tolerant gegenüber Staub und Partikeln
- ✓ Kompakte Bauweise – platzsparende Installation
- ✓ Leiser Betrieb – optimierte Schalldämpfung
- ✓ Intelligente Steuerung – mit modernen Überwachungsfunktionen
Hauptanwendungsbereiche:
- Halbleiterindustrie: Ätzen, CVD, PECVD, ALD, Implantation, Sputtern
- Beschichtungstechnik: PVD, Sputtern, Aufdampfen, Plasmabehandlung
- Solartechnik: Herstellung von Solarzellen, Dünnschichttechnologie, CIGS
- Display-Herstellung: LCD, OLED, Touchscreen-Produktion
- LED-Produktion: MOCVD-Prozesse, Epitaxie
- Chemische Industrie: Destillation, Trocknung, Polymerisation, aggressive Gase
- Pharmazeutische Industrie: API-Herstellung, Lyophilisation, Sterilisation
- Forschung & Entwicklung: Hochvakuumkammern, Materialforschung, Dünnschichttechnik
- Analytik: Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie, Oberflächenanalytik
- Metallurgie: Vakuumöfen, Wärmebehandlung, Sintern unter Schutzgas
- Optische Industrie: Präzisionsbeschichtung von Linsen und optischen Komponenten
- Medizintechnik: Sterilisationsanlagen, Hochvakuum-Gefriertrocknung
SCREWLINE vs. andere Vakuumtechnologien:
| Kriterium | SCREWLINE | Drehschieber (ölfrei) | Roots + Vorpumpe |
|---|---|---|---|
| Endvakuum | ✓✓ 0,01 mbar | ○ 100-150 mbar | ✓ <0,001 mbar |
| Saugvermögen | ✓ Hoch (150-630 m³/h) | ○ Niedrig (3-150 m³/h) | ✓✓ Sehr hoch |
| Ölfreiheit | ✓ 100% ölfrei | ✓ 100% ölfrei | ✓ Mit ölfreier Vorpumpe |
| Vorpumpe nötig | ✓✓ Nein | ✓ Nein | ✗ Ja, zwingend |
| Chemikalienbeständig | ✓✓ Sehr gut | ○ Bedingt | ✓ Gut |
| Wartung | ✓✓ Sehr wartungsarm | ○ Lamellenersatz nötig | ○ Zwei Pumpen |
| Investitionskosten | ○ Hoch | ✓ Niedrig | ○ Hoch (System) |
| Betriebskosten | ✓✓ Sehr niedrig | ✓ Niedrig | ○ Mittel |
| Komplexität | ✓ Einfach (eine Pumpe) | ✓ Einfach | ○ Komplex (System) |
Wann ist SCREWLINE die beste Wahl?
SCREWLINE Schraubenpumpen sind ideal, wenn folgende Anforderungen bestehen:
- ✓ Absolut ölfreies Vakuum erforderlich (Halbleiter, Pharma, Lebensmittel)
- ✓ Endvakuum bis 0,01 mbar ohne zusätzliche Vorpumpe gewünscht
- ✓ Aggressive, korrosive oder toxische Gase im Prozess
- ✓ Hohe Saugleistung über weiten Druckbereich (10⁻² bis Atmosphäre)
- ✓ Minimale Wartungsanforderungen für 24/7-Betrieb
- ✓ Partikelbelastung oder Staub im Prozessgas
- ✓ Einfaches System ohne komplexe Vorpumpen-Konfiguration
- ✓ Niedrige Gesamtbetriebskosten über Lebenszyklus
- ✓ Hohe Verfügbarkeit und Zuverlässigkeit kritisch
Innovative Features der SCREWLINE:
- Intelligente Steuerung: Integrierte Elektronik mit Diagnose und Überwachung
- Predictive Maintenance: Vorausschauende Wartungsplanung durch Sensordaten
- Fernüberwachung: Remote-Monitoring und -Diagnose möglich
- Energiemanagement: Automatische Drehzahlregelung für optimale Effizienz
- Schutzfunktionen: Temperatur-, Druck- und Vibrationsüberwachung
- Industrie 4.0-ready: Schnittstellen für Integration in Smart Factory
Verfügbare Ausführungen und Optionen:
- Standard-Ausführung: Für Luft und neutrale Gase
- Chemikalienbeständig: Spezielle Beschichtungen und Materialien (z.B. Edelstahl)
- Mit Gasballast: Für kondensierbare Dämpfe und Feuchtigkeit
- Mit Stickstoffspülung: Zum Schutz der Lager und Dichtungen
- Frequenzumrichter: Variable Drehzahl für optimale Energieeffizienz
- ATEX-Ausführung: Für explosionsgefährdete Bereiche (Zone 1/2)
- Mit Kondensator: Für Prozesse mit hohem Dampfanteil
- Reinraumausführung: Für kritische Produktionsumgebungen
- Verschiedene Anschlüsse: ISO-KF, ISO-K, Flansche nach Kundenwunsch
Betriebsparameter und Wartung:
- Kühlsystem: Wassergekühlt (Standard), Luftkühlung optional
- Kühlwasserbedarf: Ca. 15-25 l/min je nach Modell
- Umgebungstemperatur: +5°C bis +40°C
- Wartungsintervalle: Ca. 16.000-24.000 Betriebsstunden
- Lager: Lebensdauergeschmierte Wälzlager
- Dichtungen: FKM oder FFKM für extreme Chemikalienbeständigkeit
- Geräuschpegel: Ca. 65-75 dB(A) je nach Modell
- Lebensdauer: >50.000 Betriebsstunden bei ordnungsgemäßem Betrieb
Unser Komplettservice für SCREWLINE Vakuumpumpen:
- Verkauf: Neue SCREWLINE SP und SX Pumpen
- Beratung & Auslegung: Technische Dimensionierung für Ihre Prozesse
- Inbetriebnahme: Professionelle Installation und Start-up vor Ort
- Ersatzteile: Rotoren, Lager, Dichtungen, Zahnräder, Motoren ab Lager
- Zubehör: Schalldämpfer, Filter, Kühlsysteme, Frequenzumrichter
- Wartung: Regelmäßige Inspektionen nach Herstellervorgaben
- Reparatur & Revision: Professionelle Generalüberholung in Spezialwerkstatt
- Vor-Ort-Service: Schnelle Störungsbeseitigung beim Kunden
- Austauschservice: Minimale Ausfallzeiten durch Leihgeräte
- Training: Bedienerschulung und technische Einweisung
- Systemintegration: Komplette Vakuumsysteme mit Steuerung
Service-Infrastruktur:
- Spezialisiertes Technikerteam für Leybold Schraubenpumpen
- Ingenieure für Prozessanalyse und Systemauslegung
- Umfangreiches Ersatzteillager für schnelle Verfügbarkeit
- Austauschpumpen zum Verleih bei Reparaturen
- Moderne Test- und Messeinrichtungen für Hochvakuum
- Zertifizierte Reinigungsverfahren
- Direkte Verbindung zu Leybold Werk für Spezialfälle
Auswahlhilfe – Wichtige Fragen:
- Welches Endvakuum ist erforderlich? (mbar absolut)
- Welcher Volumenstrom wird benötigt? (m³/h bei welchem Druck)
- Welche Gase/Dämpfe werden gefördert? (Zusammensetzung, aggressiv, kondensierbar)
- Gaslasten: Welche Gasmenge muss kontinuierlich abgepumpt werden?
- Betriebsweise: Kontinuierlich oder zyklisch?
- Umgebungsbedingungen: Temperatur, Platzverhältnisse, Kühlwasser verfügbar?
- Besondere Anforderungen: ATEX, Reinraum, FDA-konform?
- Integration: Standalone oder in bestehendes System?
Warum Leybold SCREWLINE Schraubenpumpen?
- Führende Technologie in trockenlaufenden Schraubenpumpen
- Über 170 Jahre Leybold Erfahrung in Vakuumtechnik
- Höchste Zuverlässigkeit für kritische Prozesse
- Optimal für Halbleiter, Beschichtung und Chemie
- Niedrigste Gesamtbetriebskosten (TCO) über Lebenszyklus
- Intelligente Steuerung und Industrie 4.0-Fähigkeit
- Weltweiter Service und Support
- Bewährte Technologie in tausenden Anlagen weltweit
Total Cost of Ownership (TCO):
Obwohl SCREWLINE Pumpen höhere Anschaffungskosten haben, sind die Gesamtbetriebskosten oft niedriger als bei anderen Technologien:
- ✓ Kein Ölwechsel → Ersparnis an Material und Arbeitszeit
- ✓ Keine Ölentsorgung → Umweltkosten entfallen
- ✓ Längere Wartungsintervalle → Weniger Stillstandszeiten
- ✓ Keine Vorpumpe nötig → Einsparung einer kompletten Pumpe
- ✓ Höhere Verfügbarkeit → Mehr Produktionszeit
- ✓ Energieeffizienz → Niedrigere Stromkosten
- ✓ Längere Lebensdauer → Amortisation über viele Jahre
Kontaktieren Sie uns für eine kostenlose TCO-Analyse! Unsere Leybold-Spezialisten berechnen die Gesamtbetriebskosten für Ihre spezifische Anwendung und vergleichen verschiedene Technologien – inklusive technischer Auslegung, Pumpzeit-Simulation und Return-on-Investment-Berechnung.
