Diffusionsvakuumpumpen ULVAC - Hochvakuum- und Ultrahochvakuumpumpen
Diffusionsvakuumpumpen ULVAC sind Hochvakuumpumpen, die nach dem Dampfstrahlprinzip arbeiten. Diese bewährten Pumpen erreichen sehr tiefe Vakuumniveaus bis in den Ultrahochvakuumbereich (10⁻¹⁰ mbar) und bieten hohe Saugleistungen bei gleichzeitig zuverlässigem Betrieb. Sie sind die ideale Lösung für anspruchsvolle Hochvakuumanwendungen.
Funktionsprinzip:
Diffusionspumpen arbeiten mit erhitztem Öldampf, der durch Düsen mit hoher Geschwindigkeit ausströmt und die Gasmoleküle in Richtung Auslass transportiert. Der Öldampf kondensiert an den gekühlten Wänden und fließt zurück zum Heizelement. Diese Pumpen benötigen eine Vorvakuumpumpe für den Betrieb.
Hauptmerkmale der ULVAC Diffusionspumpen:
- Öldampf-Strahlpumpentechnologie
- Sehr tiefes Endvakuum bis 10⁻¹⁰ mbar
- Hohe Saugleistung im Hochvakuumbereich
- Keine beweglichen Teile - wartungsarm
- Lange Lebensdauer
- Zuverlässiger Dauerbetrieb
- Verschiedene Flanschgrößen verfügbar
- Wassergekühlte Konstruktion
Technische Kennwerte:
- Enddruck: bis 10⁻¹⁰ mbar (mit Kühlfalle)
- Saugleistung: von 100 bis mehrere tausend l/s
- Verschiedene Flanschgrößen: DN 63 bis DN 400 und größer
- Heizleistung: je nach Modellgröße
- Kühlwasserbedarf: modellabhängig
- Aufheizzeit: typisch 20-45 Minuten
Konstruktionsmerkmale:
- Mehrstufiges Düsensystem für optimale Kompression
- Wassergekühltes Gehäuse
- Elektrische Heizung für Öl-Verdampfung
- Ölrücklaufsperre zur Minimierung der Rückströmung
- Robuste Edelstahl- oder Aluminiumkonstruktion
- Optional mit Kühlbaffle oder Kühlfalle
Verfügbare Ausführungen:
- Standard-Diffusionspumpen: Für allgemeine Hochvakuumanwendungen
- Hochleistungs-Diffusionspumpen: Für maximale Saugleistung
- Ultrahochvakuum-Diffusionspumpen: Für tiefste Drücke
- Kompakte Modelle: Für Laboranwendungen
- Große Industriemodelle: Für Beschichtungsanlagen
Zubehör und Optionen:
- Kühlbaffle zur Reduzierung der Ölrückströmung
- Kühlfallen für ultrasauberes Vakuum
- Verschiedene Diffusionspumpenöle
- Heizmanschetten und Steuerungen
- Vakuummeter und Überwachungssysteme
- Vorvakuumpumpen-Sets
Ideale Anwendungen:
ULVAC Diffusionspumpen eignen sich perfekt für:
- Dünnschichtbeschichtung (optische Beschichtung)
- Metallbedampfung
- Elektronenmikroskopie
- Massenspektrometrie
- Oberflächenanalytik
- Halbleiterforschung
- Materialwissenschaft
- Vakuummetallurgie
- Hochvakuumöfen
- Forschung und Entwicklung
- Universitäten und wissenschaftliche Institute
Vorteile gegenüber anderen Pumpentypen:
- Sehr hohe Saugleistung bei niedrigen Drücken
- Keine beweglichen Teile - geringer Verschleiß
- Kostengünstig in Anschaffung und Betrieb
- Bewährte und zuverlässige Technologie
- Einfache Wartung
- Lange Standzeiten
Typische Systemkonfiguration:
Diffusionspumpe + Vorvakuumpumpe (Drehschieber oder Roots-Kombination) + Kühlbaffle/Kühlfalle + Vakuumventile + Vakuummessung
Anwendungsbereiche:
Die ULVAC Diffusionspumpen werden eingesetzt in der Optikbeschichtung, Displayherstellung, wissenschaftlichen Forschung, Analytik, Materialwissenschaft, Oberflächenphysik, Dünnschichttechnologie und überall dort, wo tiefes Hochvakuum oder Ultrahochvakuum mit hoher Saugleistung benötigt wird.
Services:
- Lieferung von Vakuumsystemen mit ULVAC Diffusionspumpen
- Verkauf von Diffusionspumpen
- Ersatzteile und Diffusionspumpenöle
- Zubehör (Kühlbaffle, Kühlfallen, Ventile)
- Service und Wartung beim Kunden
- Reparaturen und Überholungen
- Technische Beratung und Systemauslegung
- Schulungen zum Betrieb von Diffusionspumpen
Verfügbare Produktlinien:
ULVAC Diffusionspumpen in verschiedenen Größen und Leistungsklassen für Hochvakuum- und Ultrahochvakuumanwendungen
