Roots-Vakuumpumpen ULVAC - Hochleistungs-Booster für Vakuumsysteme
Roots-Vakuumpumpen ULVAC sind Hochleistungs-Booster, die zur Verstärkung von Hauptvakuumpumpen eingesetzt werden. Diese mechanischen Booster erhöhen die Saugleistung des gesamten Vakuumsystems erheblich und ermöglichen schnelleres Evakuieren sowie tiefere Vakuumniveaus. ULVAC bietet verschiedene Roots-Pumpenserien für unterschiedlichste Anwendungen an.
Hauptmerkmale der ULVAC Roots-Pumpen:
- Mechanische Roots-Booster-Technologie
- Hohe volumetrische Saugleistung
- Berührungsfreier Betrieb der Rotoren
- Ein- oder mehrstufige Ausführungen
- Trockenlaufende Konstruktion
- Geringe Vibrationen
- Hohe Zuverlässigkeit im Dauerbetrieb
- Verschiedene Größen und Leistungsklassen
Funktionsprinzip:
Roots-Vakuumpumpen arbeiten nach dem Verdrängerprinzip mit zwei gegenläufig rotierenden Drehkolben, die sich berührungsfrei im Pumpengehäuse drehen. Sie komprimieren das Gas vom Einlass zum Auslass und werden in Kombination mit einer Vorvakuumpumpe betrieben.
Vorteile von Roots-Boostern:
- Deutlich höhere Saugleistung im Vakuumsystem
- Kürzere Evakuierungszeiten (Pumpdown-Zeit)
- Tiefere erreichbare Vakuumniveaus
- Konstante Saugleistung über weiten Druckbereich
- Energieeffiziente Lösung für große Volumina
- Reduzierung der Prozesszeiten
- Erhöhung der Produktivität
Technische Kennwerte:
- Saugleistung: je nach Modell von hunderten bis mehrere tausend m³/h
- Druckbereich: typisch 10⁻³ bis 10 mbar
- Verschiedene Kompressionsverhältnisse
- Luftgekühlte oder wassergekühlte Ausführungen
- Mit oder ohne Gasballast
Verfügbare Serien und Konfigurationen:
- Einstufige Roots-Booster: Für mittlere Anforderungen
- Mehrstufige Roots-Booster: Für höchste Saugleistungen
- Kompaktserien: Platzsparende Lösungen
- Hochleistungsserien: Für industrielle Großanlagen
Ideale Anwendungen:
ULVAC Roots-Vakuumpumpen eignen sich perfekt für:
- Beschichtungsanlagen (PVD, CVD, Sputtern)
- Halbleiterproduktion
- Vakuummetallurgie
- Gefriertrocknung (Lyophilisation)
- Vakuumöfen und Wärmebehandlung
- Elektronenstrahlschweißen
- Vakuumdestillation
- Materialforschung
- Raumfahrtsimulation
- Als Vorpumpen für Hochvakuumpumpen
Typische Systemkonfigurationen:
- Roots-Booster + Drehschieberpumpe (klassische Kombination)
- Mehrstufige Roots-Kaskade + Vorvakuumpumpe
- Roots-Booster + Schraubenpumpe
- Roots-Booster als Vorpumpe für Turbomolekularpumpen
Anwendungsbereiche:
Die ULVAC Roots-Pumpen werden eingesetzt in der Halbleiterindustrie, Dünnschichttechnologie, Optikbeschichtung, Displayherstellung, Solarindustrie, Metallurgie, Pharmaindustrie, Forschungsinstituten und überall dort, wo hohe Saugleistungen im Hoch- und Feinvakuum benötigt werden.
Services:
- Lieferung von Vakuumsystemen mit ULVAC Roots-Pumpen
- Verkauf von Roots-Boostern
- Systemauslegung und Engineering
- Ersatzteile und Zubehör
- Service und Wartung beim Kunden
- Reparaturen und Überholungen
- Technische Beratung und Schulungen
Verfügbare Produktlinien:
ULVAC Roots-Booster in verschiedenen Serien und Leistungsklassen
